Una pompa per vuoto a vite è costituita da due viti, una con filettatura destra e l'altra con filettatura sinistra. Entrambe le viti ruotano nell'alloggiamento del compressore senza attrito a giochi molti stretti. Sono sincronizzati tramite un preciso ingranaggio. L'alloggiamento di compressione e le viti di forma speciale formano le camere di compressione. A causa della rotazione opposta di entrambe le viti, la camera collegata con il foro di aspirazione è ingrandita e il gas viene trasportato nella camera di compressione. Quindi la camera si sposta assialmente dal lato di aspirazione a quello di pressione. Durante il trasporto, quantità di gas aumenta nella camera a causa del maggiore flusso . Sul lato pressione la camera viene spostata contro l'alloggiamento assiale fino a che la superficie anteriore della vite apre il canale della pressione e il gas precompresso viene scaricato attraverso l'attacco di pressione.
La camera è piena di olio della pompa del vuoto, che svolge un ruolo di lubrificazione, tenuta e raffreddamento. Dopo che la miscela olio-aria scaricata dalla camera viene sottoposta a una separazione olio-aria a tre livelli, il gas pulito viene scaricato nell'atmosfera. Dopo essere stato raffreddato dal raffreddatore ad aria, l'olio lubrificante viene nuovamente iniettato nella camera della pompa a vuoto per essere riciclato.
