Une pompe à vide à vis se compose de deux vis, l'une avec un filetage à droite et l'autre avec un filetage à gauche. Ces deux vis tournent dans le carter de compression sans frottement et avec des jeux très réduits. Ils sont synchronisés à l'aide d'un engrenage précis sur le site . Le boîtier de compression et les vis de forme spéciale forment les chambres de compression. Du fait de la rotation opposée des deux vis, la chambre raccordée au port d’aspiration s’étend et le gaz est amené jusque dans la chambre de compression. La chambre se déplace ensuite axialement du côté aspiration vers le côté pression. Pendant le transport, l'abondance de gaz augmente dans la chambre en raison du débit plus important de . Sur le côté pression, la chambre se déplace contre la paroi axiale du carter et le volume est réduit jusqu’à ce que la surface frontale de la vis ouvre le canal de pression. Le gaz précomprimé est alors déchargé à travers le raccord de pression.
La chambre est remplie d'huile de pompe à vide, qui joue un rôle dans la lubrification, l'étanchéité et le refroidissement. Après que le mélange huile-air évacué de la chambre a subi une séparation huile-air à trois niveaux, le gaz propre est évacué dans l'atmosphère. Après avoir été refroidie par le refroidisseur d'air, l'huile lubrifiante est à nouveau injectée dans la chambre de la pompe à vide pour être recyclée.
