Una bomba de vacío de tornillo consta de dos tornillos, uno con rosca derecha y otro con rosca izquierda. Ambos tornillos giran sin fricción en la caja de compresión con holguras muy ajustadas. Se sincronizan en mediante un engranaje preciso. La carcasa de compresión y los tornillos de forma especial forman las cámaras de compresión. Dado que los tornillos giran en sentido contrario, la cámara conectada al orificio de succión se ensancha y el gas se transporta hasta la cámara de compresión. A continuación, la cámara se desplaza axialmente del lado de aspiración al lado de presión. Durante el transporte, aumenta la cantidad de gas en la cámara debido al mayor flujo . En el lado de presión, la cámara se desplaza hacia la pared axial de la caja y el volumen se reduce hasta que la superficie frontal del tornillo abre el canal de presión y el gas comprimido se descarga a través de la conexión de presión.
La cámara está llena de aceite de bomba de vacío, que desempeña una función de lubricación, sellado y refrigeración. Después de que la mezcla de aceite y aire que sale de la cámara se somete a una separación de aceite y aire de tres niveles, el gas limpio se expulsa a la atmósfera. Tras ser enfriado por el refrigerador de aire, el aceite lubricante se inyecta de nuevo en la cámara de la bomba de vacío para su reciclado.
