Principe de fonctionnement de la pompe à palettes
Les pompes à palettes fonctionnent en augmentant le volume à l'entrée et en comprimant ce volume à l'échappement. Pour ce faire, le rotor est placé de manière excentrique à l'intérieur du boîtier cylindrique, de sorte qu'il touche presque le boîtier en haut et qu'il en est éloigné en bas. Ce rotor abrite les palettes et, lorsqu'il tourne, la force centrifuge fait sortir ces palettes des rainures dans lesquelles elles sont logées jusqu'à ce qu'elles entrent en contact avec la paroi du cylindre. Lorsque les palettes sont dans cette position, elles créent une barrière de gaz efficace qui divise la cavité de la pompe en plusieurs sections.
En tournant, les sections exposées à l'orifice d'entrée se dilatent continuellement et les sections exposées à l'orifice d'échappement se contractent continuellement. Le gaz de traitement est alors aspiré dans l'orifice d'entrée, comprimé dans la pompe et expulsé par l'orifice d'échappement. Les palettes étant physiquement en contact avec la paroi du cylindre, une lubrification est nécessaire. Cette lubrification favorise également l'étanchéité entre les sections du cylindre et facilite le transfert de chaleur loin du site de compression. La combinaison de ces actions permet aux pompes à palettes lubrifiées à l'huile de supporter des pressions de base très faibles et, à ce titre, elles conviennent aux applications nécessitant des niveaux de vide aussi bas que 0,375 Torr.
