Funktionsprinzip der Drehschieberpumpe
Drehschieberpumpen arbeiten durch Expansion des Volumens am Einlass und Kompression dieses Volumens am Auslass. Dies wird dadurch erreicht, dass der Rotor exzentrisch im Inneren des zylindrischen Gehäuses platziert wird, so dass er das Gehäuse oben fast berührt und unten einen gewissen Abstand hat. In diesem Rotor sind die Schaufeln untergebracht, und wenn er sich dreht, werden die Schaufeln durch die Zentrifugalkraft aus den Nuten herausgeschleudert, in denen sie sitzen, bis sie die Zylinderwand berühren. In dieser ausgefahrenen Position bilden die Schaufeln eine effektive Gasbarriere, die den Pumpenhohlraum in mehrere Abschnitte unterteilt.
Während der Rotation dehnen sich die Abschnitte, die der Einlassöffnung ausgesetzt sind, kontinuierlich aus, und die Abschnitte, die der Auslassöffnung ausgesetzt sind, ziehen sich kontinuierlich zusammen. Dadurch wird das Prozessgas in den Einlass gesaugt, in der Pumpe komprimiert und aus der Auslassöffnung ausgestoßen. Da die Schaufeln physisch mit der Zylinderwand in Kontakt sind, ist eine Schmierung erforderlich. Diese Schmierung unterstützt auch die Abdichtung zwischen den Abschnitten des Zylinders und erleichtert die Wärmeübertragung von der Kompressionsstelle weg. Dank dieser Kombination können ölgeschmierte Drehschieberpumpen sehr niedrige Basisdrücke erzeugen und eignen sich daher für Anwendungen, die ein Vakuum von nur 0,375 Torr erfordern.
